[发明专利]合成树脂成型物及其制造方法无效
| 申请号： | 96191618.4 | 申请日： | 1996-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN1166809C | 公开（公告）日： | 2004-09-15 |
| 发明（设计）人： | 原田和男;贺屋政德;林笃;籾井达夫;高仓辉夫 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/20 | 分类号： | C23C14/20 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 刘立平 |
| 地址： | 日本东京*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种合成树脂成型物及其制造方法，其特征在于：在具有疏水性的合成树脂基材上，以干法形成由选自Si、Zr、Ti、Ta、Hf、Mo、W、Nb、Sn、In、Al、Cr及Zn中的一种以上的金属氧化物组成的薄膜，所述合成树脂基材为含氟树脂，所述薄膜为由至少含有Si的金属氧化物组成。 | ||
| 搜索关键词： | 合成树脂 成型 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种合成树脂成型物，其特征在于：在具有疏水性的合成树脂基材上，以干法形成由选自Si、Zr、Ti、Ta、Hf、Mo、W、Nb、Sn、In、Al、Cr及Zn的一种以上氧化物的混合物组成的厚3-100nm的薄膜，所述合成树脂基材为含氟树脂，所述薄膜为由至少含有Si的氧化物组成，所述Si含量为相对所有金属总量的20-80原子％。
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