[发明专利]具有介质层的薄膜可驱动反射镜阵列

摘要

一种M×N薄膜可驱动反射镜(201)阵列(200)包括一个有源矩阵(210)，一个驱动结构(300)阵列，该阵列包括一个弹性单元(235)，一个第二薄膜电极(245)，一个薄膜电致位移单元(255)和一个第一薄膜电极(265)，阵列(200)还包括M×N个薄膜电介质单元(401)的多层叠(400)。另外，还提供保护以使第一薄膜电极(265)不受化学和物理破坏，该电极(265)同时还作为反射镜以反射光束，置于各个驱动结构顶部的薄膜电介质单元(401)的多层叠(400)在各个薄膜可驱动反射镜中提供最大的反射比，由此获得阵列的最佳光学效率。

主权项

1.一种M×N薄膜可驱动反射镜阵列，其中，M和N为整数，用于一种光学投影系统，该阵列包括：一个有源矩阵，该有源矩阵包含一个基底，一个M×N接线端阵列和一个M×N晶体管阵列，其中该有源矩阵位于所述阵列的底部并且各个接线端被电连接到相应的晶体管上；M×N导体，各个导体由导电材料制成；一个M×N驱动结构阵列，每个驱动结构包括垂直地顺序放置的一个弹性单元，一个第二薄膜电极，一个薄膜电致位移单元和一个第一薄膜电极，其中各个导体位于各个驱动结构的一个端部，从第二薄膜电极的底部延伸至接线端的顶部，由此以使第二薄膜电极作为各个薄膜可驱动反射镜中的信号电极，由一种既反光又导电的材料制成的第一薄膜电极被接地，由此作为各个薄膜可驱动反射镜中的反射镜和偏置电极；和M×N个薄膜电介质单元的多层叠，各个薄膜电介质单元的多层叠被置于除与各个驱动结构中上述端部相对应部位之外的第一薄膜电极的上方，其中所述各个薄膜电介质单元具有预定的厚度和特定的折射率。