[发明专利]表面检查系统和检查工件表面的方法无效
| 申请号： | 96193137.X | 申请日： | 1996-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN1181135A | 公开（公告）日： | 1998-05-06 |
| 发明（设计）人： | 李·D·克莱门特;迈克尔·E·福斯伊 | 申请（专利权）人： | ADE光学系统公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/89 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 马浩 |
| 地址： | 美国北*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种表面检查系统(20)及检查工件表面的方法,用于检查工件表面内部或表面上的微粒、缺陷或其它表面特征。这种表面检查系统有一个被设置用来沿着一个实际路径传送工件的传送器(40)和一个与传送器相连接的被设置用来在沿着实际路径平移时旋转工件的旋转器(45)。安置了一个扫描器(80),它被设置用来当工件沿着实际路径旋转并平移时扫描工件表面。该扫描器包括一个被设置用来产生一束光的光源(81)和一个被设置用来当工件沿着实际路径旋转并平移时接收光束并使其沿着一个预先确定的扫描路径偏转经过工件表面的致偏器(85)。还设置了一个集光器(100)用来收集当工件沿着实际路径旋转并平移时从工件表面镜面反射和散射来的光。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 检查 系统 工件 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用以检查工件的表面上的微粒或缺陷的表面检查系统，该表面检查系统包括：沿一实际路径平移传送工件的装置；在工件沿实际路径平移运动的过程中用来旋转工件的与上述传送装置相连的装置；一个被安装和设置用来在工件沿实际路径旋转并平移的过程中扫描工件表面的扫描器。上述扫描器包括一个被设置用来从其中产生光束的光源和被安置用来接收光束并被设置用来当工件沿实际路径旋转并平移运动时沿着一条预定扫描路径使光束扫描经过工件的表面的装置；以及一个被设置用来在工件沿实际路径旋转并平移运动时，收集从工件表面反射和散射的光的集光器。
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