[发明专利]用在光学投影系统中的薄膜致动反射镜阵列

摘要

本发明的一种M×N薄膜致动反射镜反射镜阵列包括有源矩阵、绝缘层、蚀刻停止层和M×N致动结构阵列每个致动结构在其远端有一尖端，且有横穿其结构的蚀刻口，还包括一个带水平条的第一薄膜电极、一个薄膜电致位移单元、一个第二薄膜电极、一个弹性单元和一个导体。形成水平条、尖端和蚀刻口分别是为增加各个薄膜致动反射镜的光学效率，促进去除清洗剂和使薄膜待除层容易去除。$#!

主权项

1、一种M×N薄膜致动反射镜阵列，其中，M和N为整数，用于一种光学投影系统，该阵列包括：有源矩阵，该有源矩阵包含一个基底、一个M×N晶体管阵列和一个M×N接线端阵列，其中各个接线端被电连接到晶体管阵列中相应的晶体管上；钝化层，其在有源矩阵的顶部形成；蚀刻停止层，其在钝化层的顶部形成；以及M×N致动结构阵列，每个致动结构具有一个近端和一个远端，每个致动结构在其远端具有一个尖端和一个横穿其结构的蚀刻口，每个致动结构包括，一个第一薄膜电极、一个薄膜电致位移单元、一个第二薄膜电极、一个弹性单元和一个导体，其中第一薄膜电极位于薄膜电致位移单元的顶部，且被水平条分为致动部分和反光部分，水平条使致动部分和反光部分相电分离，致动部分接地，由此使致动部分作为反射镜和偏置电极，反光部分作为反射镜，薄膜电致位移单元被置于第二薄膜电极的顶部，第二薄膜电极形成于弹性单元的顶部，第二薄膜电极通过导体和接线端电连接到相应的晶体管上，且与在其它薄膜致动反射镜中的第二薄膜电极相电分离，由此使其作为信号电极，弹性单元位于第二薄膜电极的底部；弹性单元近端的底面部分，通过部分插入其中的蚀刻停止层和钝化层与有源矩阵相连接，由此使致动结构构成悬臂；导体从薄膜电致位移单元的顶部延伸至相应的接线端的顶部，由此使第二薄膜电极电连接到接线端。