[发明专利]具有容纳元件的凹槽的硅衬底及其制造这种凹槽的方法无效
| 申请号： | 96193525.1 | 申请日： | 1996-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN1083108C | 公开（公告）日： | 2002-04-17 |
| 发明（设计）人： | Y·贝克隆德 | 申请（专利权）人： | 艾利森电话股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/36 | 分类号： | G02B6/36 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 邹光新,萧掬昌 |
| 地址： | 瑞典斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在硅衬底(1)中具有用于容纳元件的凹槽(2)，与衬底成一体的至少一个固定部件(3)至少部分地延伸到凹槽(2)上使凹槽(2)内的容纳元件固定就位。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 容纳 元件 凹槽 衬底 及其 制造 这种 方法 | ||
【主权项】：
1.一种具有用于容纳元件的凹槽(2，2’，2”)的硅衬底(1，1’，1”)，其特征在于至少一个与衬底成一体的固定部件(3，4，5)至少部分延伸到凹槽(2，2’，2”)上将凹槽(2，2’，2”)内的元件固定就位。
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