[发明专利]具有选择性作用的穿透面的气滤及制造此穿透面的方法无效
| 申请号： | 96194699.7 | 申请日： | 1996-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN1108851C | 公开（公告）日： | 2003-05-21 |
| 发明（设计）人： | 维尔纳·格罗瑟·布莱;托马斯·伯姆;乌尔里希·德布勒;曼弗雷德·拉谢;托马斯·策特尔 | 申请（专利权）人： | 莱博尔德真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | B01D69/00 | 分类号： | B01D69/00;G01M3/20 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 孙征 |
| 地址： | 联邦德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种气滤(1)，它具有选择性作用的由石英、石英玻璃、派热克斯玻璃等制成的穿透面；为了制成比较薄而又能施加比较大的压差的穿透面，建议此选择性作用的穿透面由许多并列的窗口(5)构成。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 选择性 作用 穿透 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.用于制造气滤(1)的方法，所说气滤包括一个气体选择性薄膜(7、8)和一个设置有多个开口的支撑片(4)，其中每个开口分别与所述薄膜(7、8)共同形成一个窗口(5)，其特征在于：将一个具有所期望的选择特性的由一种硅材料制成的薄层(7、8)涂布到一个硅片(4)的一面上；在所述硅片(4)的另一面上，对多个窗口(5)的几何形状进行限定；并且通过腐蚀加工将所述硅片(4)的另一面加工成只在硅片中形成多个开口，这些开口与由气体选择性材料制成的薄层(7、8)共同形成了多个所期望的窗口(5)。
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