[发明专利]用于基底携带装置和装载锁定装置的门驱动机构

摘要

提供一个系统,用来批量地把半导体晶片由一个轻便的携带装置(32)装载进一个装载锁定装置(22)中。该携带装置被支承在邻近于一个装载锁定腔室。一个与该装载锁定腔室有关的多高度的端部操纵装置(84)包括多个隔离开的端部操纵装置组(92)。把晶片作为一组接合,同时把晶片作为一组收回,随后把它们保持在装载锁定腔室中,用来接着一次一片地把晶片运送进一个相邻的运送腔室(28)中。在由携带装置把多个晶片运送到装载锁定腔室中之后,把携带装置和装载锁定腔室密封起来,并把装载锁定腔室和运送腔室抽空。设置有多种机构,用来移动端部的操纵装置组,并用来使携带装置的门(44)和装载锁定装置的门(80)在关闭位置与打开位置之间移动,并移到一个停放位置。还设置有机构,用来单个地使携带装置的门和装载锁定装置的门在关闭位置与打开位置之间运动,随后,作为一个单元被移到一个停放位置。

主权项

1.在与用来批量地装载半导体晶片的一个系统的组合中，该系统包括一个轻便的携带装置，用来在一个基本上没有颗粒的环境中以隔离开的大致重叠的方式支承和运送多个晶片，所述携带装置有一个携带装置的进口，用来向它的内部提供进入口，一个装载锁定装置，在其内部形成一个为基本上没有颗粒的环境的腔室，该装载锁定装置还包括一个进入装载锁定腔室的一个装载锁定装置的进口，该系统还包括一个隔绝壳体，用来把装载锁定腔室和携带装置的内部与周围大气密封地隔绝起来，在此组合中有一个连通进口组件，它包括：一个在所述携带装置上的携带装置的门，其可以在覆盖着所述携带装置的进口用来把所述携带装置的内部与周围大气密封起来的一个关闭位置和与所述携带装置的进口分离开的一个打开位置之间运动；一个在所述装载锁定装置上的装载锁定装置的门，其可以在覆盖着所述装载锁定装置的进口用来把装载锁定腔室与周围大气密封起来的一个关闭位置和与之分离开的一个打开位置之间运动；一个在所述装载锁定装置的门上的携带装置的门的驱动机构，用来使所述携带装置的门在关闭位置与打开位置之间运动；所述隔绝壳体有一个大致与所述装载锁定装置的进口对准但与之分离开的孔，该壳体还包括一个平台，用来在其上支承所述携带装置，使得所述携带装置的进口邻近于所述隔绝壳体中的孔；以及当所述携带装置被支承在所述平台上时，在所述隔绝壳体与所述携带装置之间的密封装置，该密封装置围绕着所述携带装置的进口和在所述隔绝壳体中的孔，用来把所述携带装置的内部、所述隔绝壳体的内部和装载锁定腔室与周围大气隔绝起来。