[发明专利]测量加速度或机械力的方法和装置

摘要

利用一个传感器或一个加速度计测量加速度或机械力的一种方法，所说加速度产生惯性力，在所说传感器或加速度计中至少有一个压电元件受到基本平行于所说压电元件的极化轴的一个剪切力的作用，所说剪切力由基本垂直于所说极化轴的一个机械力或惯性力分量形成。用于测量加速度或机械力的一种传感器，所说加速度引起惯性力，包括至少一个压电元件，和至少两个分离的、与所说压电元件接合的表面，所说表面这样设置，使得它们在基本沿垂直于所说压电元件的极化轴方向的一个机械力或惯性力分量的作用下发生相互位移。可取的是，压电元件安装在设置在一个支撑基座上的两个测量臂的自由端之间，所说测量臂在受到力或加速度作用时沿垂直于其纵轴方向发生形变或倾斜。可以利用具有多个电极的一个压电元件测量三个方向的力或加速度。这些原理也适用于测量力或压力。

主权项

1、用于测量加速度或机械力的一种传感器，所说加速度产生惯性力，所说传感器包括：至少一个具有一条极化轴的压电元件，一个支撑基座，设置在所说支撑基座上的两个测量臂或直立部分，所说测量臂或直立部分在实质上沿垂直于所说至少一个压电元件的极化轴方向的一个机械力或惯性力分量作用下相对于所说支撑基座发生形变或倾斜，和至少两个分离表面，所说的至少一个压电元件安装在所说的至少两个分离表面之间，并与之成剪切关系，所说至少两个分离表面中的每一个都是所说两个测量臂或直立部分之一的一部分，所说表面这样设置，使得它们在所说力分量作用下发生相互位移，从而在压电元件中产生平行于所说的至少一个压电元件的极化轴的一个剪切力，其特征在于：每个测量臂或直立部分包括用作铰链装置的一个厚度减少并位于所说支撑基座附近的部分。