[发明专利]产生一个声表面波器件的方法无效
| 申请号： | 96199940.3 | 申请日： | 1996-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN1143430C | 公开（公告）日： | 2004-03-24 |
| 发明（设计）人： | W·帕尔;A·斯特泽尔;H·克吕格尔;J·马吹 | 申请（专利权）人： | 埃普科斯股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/05 | 分类号： | H03H9/05;H03H9/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 马铁良;王忠忠 |
| 地址： | 联邦德*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 在电子器件中，尤其是具有位于基体(1)上的导电结构(2)的和与此相连的位于基体(1)上的罩盖(4)的OFW器件中；至少该导电结构(2)通过阻挡气体扩散的和惰性保护层(3)进行覆盖。 | ||
| 搜索关键词： | 产生 一个 表面波 器件 方法 | ||
【主权项】：
1.用于产生一个声表面波器件的方法，含有如下的步骤：在一个基体(1)的表面上提供导电的声表面波结构(2)，其中该导电的声表面波结构(2)具有连接面(7)，该连接面(7)用于电连接该声表面波器件；形成一个气体扩散阻挡保护层(3)，该气体扩散阻挡保护层(3)是由氧化物、氮化物、碳化物或者氧化氮形成在该导电的声表面波结构(2)上，该形成是通过选自于由电化学涂覆和离子射击构成的组中的一个处理实现；将导电的声表面波结构(2)和该气体扩散阻挡保护层(3)封装在一个罩盖(4)之中，该罩盖(4)位于该基体(1)之上并且密封了该导电的声表面波结构(2)。
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