[实用新型]磁偏滤导管式阴极弧等离子体源无效
| 申请号： | 96201618.7 | 申请日： | 1996-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN2251243Y | 公开（公告）日： | 1997-04-02 |
| 发明（设计）人： | 高玉 | 申请（专利权）人： | 核工业西南物理研究院 |
| 主分类号： | H05H1/02 | 分类号： | H05H1/02 |
| 代理公司： | 核工业专利法律事务所 | 代理人： | 张英光,刘世权 |
| 地址： | 610041*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种金属蒸汽真空弧等离子体源，在源与靶室间设置了一个具有轴向磁场的弯曲磁导管，等离子体沿管内轴向磁力线进入靶室，而重杂质粒子由于惯性被滤除，为了提高滤除效果及防止溅射污染，在磁导管的两端加设了孔栏。本实用新型适用于材料表面改性及制备特种功能膜，能生成更纯净细腻的高质量膜。 | ||
| 搜索关键词： | 磁偏滤 导管 阴极 等离子体 | ||
【主权项】：
1、一种磁偏滤导管式阴极弧等离子体源，它包括阴极(3)、触发电极(4)和阳极(6)，其特征在于在阳极(6)的等离子体出口处与靶室间设置了一个由非磁性导体材料制成的弯曲的磁导管(9)，在其外壁上均布有能产生轴向磁场的螺管线圈(10)。
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