[实用新型]旋转磁控柱状弧源多弧离子镀膜机无效
| 申请号： | 96218605.8 | 申请日： | 1996-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN2290608Y | 公开（公告）日： | 1998-09-09 |
| 发明（设计）人： | 王福贞 | 申请（专利权）人： | 王福贞 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100027 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种旋转磁控柱状弧源多弧离子镀膜机,在镀膜室中央安装旋转磁控柱状弧源。主要由镀膜室、工件转架、旋转磁控柱状弧源、进气系统、弧源电源、烘烤加热源、引弧针系统、真空系统、工件偏压电源组成。柱弧源由管状金属材料作靶材、管内安装数根条形永磁体,永磁体在靶管内作旋转运动。弧斑呈线状沿柱弧靶全长分布,并沿柱弧靶面扫描。旋转磁控柱状弧源多弧离子镀膜机有立式结构、卧式结构、箱式结构。设备结构简单操作简便。适于镀氮化钛涂层。应用于超硬涂层刀具和钛金精饰品等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 柱状 弧源多弧 离子 镀膜 | ||
【主权项】：
1.一种旋转磁控柱状弧源多弧离子镀膜机，主要由镀膜室(1)、工件转架(2)、旋转磁控柱状弧源(3)、进气系统(4)、弧源电源(5)、烘烤加热源(6)、引弧针系统(2)、真空系统(8)、工件偏压电源(9)组成，其特征在于，在镀膜室(1)中央安装旋转磁控柱状弧源(3)，一台镀膜机只安装一个柱弧源，只配一个弧电源，一个引弧针和一套电路控制系统。
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