[实用新型]用于制膜设备的多用途等离子体喷枪无效
| 申请号： | 96219045.4 | 申请日： | 1996-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN2270341Y | 公开（公告）日： | 1997-12-10 |
| 发明（设计）人： | 吕惠宾;杨国桢;周岳亮;王会生;陈正豪;崔大复;何萌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | H05H1/26 | 分类号： | H05H1/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及制膜设备，特别是用于制膜设备中的掺杂与活化气体的一种装置。本实用新型为提供一种结构简单、直接安装在真空室内的既可用于掺杂又可用于活化气体的多用途等离子体喷枪。本实用新型采用电晕放电与尖端放电串联的双放电结构。把呈锥形的绝缘管(1)用法兰盘密封固定在真空室内，电极(3)与限流电阻(4)相接，限流电阻(4)的另一端与高压电源(5)的高压输出端相接，电极(2)与地端相接组成。该装置可用于多种制膜设备中，使用简单方便，是一种探索新型薄膜材料和制备高质量薄膜的实用装置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 设备 多用途 等离子体 喷枪 | ||
【主权项】：
1.一种用于真空制膜设备的掺杂与活化气体的多用途等离子体喷枪，包括绝缘管(1)、电极(2)，(3)、限流电阻(4)、电源(5)和法兰盘(6)。绝缘管(1)前端做成1-10个锥形喷嘴，用法兰(6)把绝缘管(1)密封固定在真空室内，绝缘管(1)的进气口(7)、电极(3)的引出端和限流电阻(4)留在真空室外。电极(2)与地端相联，限流电阻(4)与电极(3)和电源(5)的高压端相联。其特征在于：电极(3)是装在绝缘管(1)内，电极(2)包覆在绝缘管(1)外，电极(2)与电极(3)之间由绝缘管(1)隔开。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院物理研究所，未经中国科学院物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/96219045.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
