[实用新型]一种用于真空制膜设备的活化气体装置无效
| 申请号： | 96219046.2 | 申请日： | 1996-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN2265985Y | 公开（公告）日： | 1997-10-29 |
| 发明（设计）人： | 吕惠宾;杨国桢;周岳亮;王会生;陈正豪;崔大复;何萌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空制膜设备中的装置。本实用新型为提供一种结构简单、活化气体效率高、可直接用于真空室内的活化气体装置。本实用新型由呈锥形的真空放电管用法兰盘把它密封固定在真空室内，电极(3)与引入真空室内的电阻(4)相接，电极(2)与地端相接，限流电阻与电极和高压电源(5)的高压端相接组成。该装置可用于多种制膜设备中，使用方便，气体活化效率高达。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空 设备 活化 气体 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于真空制膜设备的活化气体装置，包括放电管(1)、电极(2)，(3)、限流电阻(4)、电源(5)和法兰盘(6)，其特征在于：放电管(1)前端做成1-10个锥形喷嘴，用法兰(6)把放电管(1)密封固定在真空室内，放电管(1)的进气口(7)留在真空室外，高压电源(5)的输出端引入真空室与电极(3)相联，高压电源(5)的地端与电极(2)相联，限流电阻(4)与电极(3)和高压电源(5)的高压端相联。
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