[发明专利]一种氧化膜临界开裂应力的测量方法及装置无效
申请号: | 97100974.0 | 申请日: | 1997-03-17 |
公开(公告)号: | CN1115551C | 公开(公告)日: | 2003-07-23 |
发明(设计)人: | 李铁藩;李美栓;周龙江;沈嘉年 | 申请(专利权)人: | 中国科学院金属腐蚀与防护研究所 |
主分类号: | G01L1/04 | 分类号: | G01L1/04;G01N13/00 |
代理公司: | 沈阳科苑专利代理有限责任公司 | 代理人: | 张晨 |
地址: | 110015 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 一种氧化膜临界开裂应力的测量技术,其特征在于:在采用单面氧化弯曲方法测量氧化膜应力的同时,用声发射技术对氧化膜玻裂进行监测,监测到的第一个声发射信号即表征氧化膜的初始破裂,所对应的同一时刻的氧化膜应力即为氧化膜临界开裂应力。本发明可以准确直接地给出氧化膜的临界开裂应力。 | ||
搜索关键词: | 一种 氧化 临界 开裂 应力 测量方法 装置 | ||
【主权项】:
1.一种氧化膜临界开裂应力的测量方法,其特征在于:在采用单面氧化弯曲方法测量氧化膜内应力的同时,用声发射技术对氧化膜破裂进行监测,监测到的第一个声发射信号即表征氧化膜的初始破裂,所对应的同一时刻的氧化膜内应力即为氧化膜临界开裂应力。
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