[发明专利]清洁方法及其所用的装置无效
| 申请号： | 97101959.2 | 申请日： | 1997-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN1148267C | 公开（公告）日： | 2004-05-05 |
| 发明（设计）人： | 吴义烈;三森健一;宫泽聪 | 申请（专利权）人： | 阿尔卑斯电气株式会社;奥璐佳瑙股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 含水氧化酸性清洁溶液或含水氧化碱性清洁溶液由酸性或碱性溶液与含臭氧的水混合制成。含水还原酸性清洁溶液或含水还原碱性清洁溶液由酸性或碱性溶液与含氢的水混合制成。这些含水清洁溶液中的每一种溶液都具有有效的清洁能力，其氧化还原电位(ORP)和pH值可以单独控制。因此，根据在每一制造工序过程中，粘附在物体上的污物的形式，选择相应的含水清洁溶液，利用一种形式的含水清洁溶液清洗即可清除多种污物。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 方法 及其 所用 装置 | ||
【主权项】：
1.一种清洁方法，它包括：分别将臭氧或氢气溶解在纯水中，有选择地产生含臭氧的水或含氢的水的工序；通过有选择地将酸性或碱性溶液与所述含臭氧的水混合，产生含水氧化酸性或碱性清洁溶液，或者通过有选择地将酸性或碱性溶液与所述含氢的水混合产生含水的还原酸性或碱性清洁溶液的工序；和利用所述四种含水清洁溶液中的任何一种溶液清洁物体的工序。
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