[发明专利]多光束曝光装置

摘要

本发明在于提供能以纸成本提供无颜色偏移的彩色图像的成像装置以及适用于此成像装置中的光扫描装置，为此本发明包括：给与来自多个光源以规定特性的有限焦点透镜与面透镜；使通过这两个透镜的一批激光束合成一束的合成反射镜；使合成一束的光偏转的装置；调节偏转的光在成像位置的像差特性的第一与第二成像透镜，以及将通过各成像透镜的光依预定位置出射的一或三块反射镜。

主权项

1.一种多光束曝光装置，此装置具有：按N1至NM，M为1以上的整数，所示个数配置的分别出射光的光源；包括有对应于从上述N1到NM总计个数的有限焦点透镜或准直透镜，将前述光源分别出射的光变换为会聚光或平行光的第一透镜装置；准备好M个组的用来将上述第一透镜装置分别出射的光限于会聚到第一方向之中，并能提供与此第一方向有关的透镜放大率的第二透镜装置；包含有能以与上述第一方向平行延伸的转动轴线为中心而旋转的反射面，可将从上述第二透镜装置出射的光偏转到与上述第一方向正交的第二方向上的偏转装置；以及包括有至少一个透镜且用来将由上述偏转装置以相等速度偏转的光分别于预定位置成像的成像装置，特征在于：M个光束组入射到上述偏转装置的反射面上，使得相邻光束组的间隔从一端单调地增加，而此光束组之间的间隔最小一端的光束组则同由上述偏转装置所偏转的光束相交叉地入射到该反射面上。