[发明专利]稳定的氧化钛基气相沉积材料无效
| 申请号： | 97102573.8 | 申请日： | 1997-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN1150345C | 公开（公告）日： | 2004-05-19 |
| 发明（设计）人： | K·F·克拉赫 | 申请（专利权）人： | 默克专利股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C04B35/46 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 徐汝巽 |
| 地址： | 德国达*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及氧化钛基稳定化的气相沉积材料。这些材料含有选自由氧化锆、氧化铪、氧化钇和氧化镱组成的组中的氧化物作为稳定剂。 | ||
| 搜索关键词： | 稳定 氧化 钛基气相 沉积 材料 | ||
【主权项】：
1、氧化钛基稳定化的烧结气相沉积材料，其中，氧化钛的组成为TiOx，这里，x＝1.4～1.8，其特征在于这些材料含有0.1～10wt％的选自由氧化锆、氧化铪、氧化钇和氧化镱组成的组的一种氧化物。
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