[发明专利]具有可见光分布布拉格反射器的垂直谐振腔表面发射激光器无效
| 申请号： | 97103105.3 | 申请日： | 1997-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN1166067A | 公开（公告）日： | 1997-11-26 |
| 发明（设计）人： | 江文彬;加莫尔·拉姆达尼;米切尔·S·勒比 | 申请（专利权）人： | 摩托罗拉公司 |
| 主分类号： | H01S3/05 | 分类号： | H01S3/05 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种垂直谐振腔表面发射激光器(101)及其制造方法。垂直谐振腔表面发射激光器(101)包括半导体衬底(102)，该衬底有一淀积第一组分布式布拉格反射器(103)的第一表面(105)，该分布式布拉格反射器(103)由铟铝镓磷和铝砷交叠层组成。在分布式布拉格反射器(103)上放置一有源区(106)，该有源区夹在包层区(104)和包层区(107)之间形成夹层结构。另外一个分布式布拉格反射器(108)放置在包层区(107)上。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 可见光 分布 布拉格 反射 垂直 谐振腔 表面 发射 激光器 | ||
【主权项】：
1.一种具有可见光分布式布拉格反射器的VCSEL，其特征在于包括：有第一表面和第二表面的半导体衬底；放置在半导体衬底第一表面的第一分布式布拉格反射器，第一分布式布拉格反射器包括铟铝镓磷和铝砷交迭层，具有第一杂质类型和第一浓度；放置在第一分布式布拉格反射器上的第一包层区；放置在第一包层区上的有源区；放置在有源区上的第二包层区；放置在第二包层区上的第二分布式布拉格反射器；第二分布式布拉格反射器包括铟铝镓磷和铝砷交迭层，具有第二杂质类型和第二浓度；以及一个放置在第二分布式布拉格反射器上的接触区。
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