[发明专利]带特定最外表面的表面保护层的光接收元件及其制法无效
| 申请号： | 97103146.0 | 申请日： | 1997-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN1095096C | 公开（公告）日： | 2002-11-27 |
| 发明（设计）人： | 桥爪淳一郎;植田重教;青木诚 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03G5/082 | 分类号： | G03G5/082;G03G5/147 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种光接收元件，包括导电衬底，光电导层，和由含氢原子的非单晶碳材料组成的表面保护层，其中表面保护层的20埃或更厚的表面侧层区域，用以50MHz到450MHz振荡频率的甚高频能(VHF)分解含氟的气产生的含氟等离子体，以0.1到50埃/秒的刻蚀速度刻蚀，使表面保护层具有100埃到10000埃的厚度的淀积了氟原子的刻蚀表面，以覆盖刻蚀表面。和一种生产上述光接收元件的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 特定 外表 表面 保护层 接收 元件 及其 制法 | ||
【主权项】：
1一种光接收元件，包括导电衬底，由含至少硅原子为基质的非单晶材料组成的，通过分解含硅的原料气在所述衬底上形成的光电导层，和由含氢原子的非单晶碳材料组成的，通过用50MHz到450MHz振荡频率的甚高频能分解至少包括烃的原料气在所述的光电导层上形成的表面保护层，其中由所述的非单晶碳材料组成的所述的表面保护层的20埃或更厚的表面侧层区域，用以50MHz到450MHz振荡频率的甚高频能分解含氟的气产生的含氟等离子体，以0.1到50埃/秒的刻蚀速度刻蚀使得所述的表面保护层具有100埃到10000埃的厚度和具有淀积了氟原子的刻蚀表面，以覆盖所述的刻蚀了的表面。
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