[发明专利]多层薄膜电极、高频传输线路、高频共振器和高频滤波器无效
| 申请号： | 97105527.0 | 申请日： | 1997-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN1118109C | 公开（公告）日： | 2003-08-13 |
| 发明（设计）人： | 石川容平;日高青路;松井则文;伊势智之 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H01P3/18 | 分类号： | H01P3/18;H01P7/04;H01P7/08 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 李家麟 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种多层薄膜电极，它包括交替地叠加在介电衬底上的薄导电膜和薄介电膜，在介电衬底中产生电-磁场，在各薄介电膜中产生电-磁场，在预定的频率下，基本上具有相同的相位。根据本发明的多层薄膜电极，在介电衬底与其相邻的薄导电膜之间，以及各薄导电膜与其相邻的薄介电膜之间，分别提供与薄导电膜相比更易于形成金属氧化物的粘附导电膜；根据薄介电膜和介电衬底的介电常数以及至少一层粘附导电膜的厚度，通过校正各薄介电膜的厚度，消除由于形成粘附导电膜而引起的薄导电膜表面电抗的增加。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 薄膜 电极 高频 传输 线路 共振器 滤波器 | ||
【主权项】：
1.一种多层薄膜电极，包括：交替地叠加在介电衬底上的薄导电膜和薄介电膜，电-磁场在所述介电衬底中传输，同样在所述各薄介电膜中传输，在预定的频率下，基本上具有相同的相位；其特征在于：在所述介电衬底与其相邻的所述薄导电膜之间，以及所述的各薄导电膜与其相邻的薄介电膜之间，分别提供与所述薄导电膜相比更易于形成金属氧化物的粘附导电膜；根据所述薄介电膜和所述介电衬底的介电常数以及所述粘附导电膜的厚度，通过校正所述各薄介电膜的厚度，消除由于形成所述粘附导电膜而引起的所述薄导电膜表面电抗的增加。
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