[发明专利]超精细结构的光学测量系统无效
| 申请号： | 97106440.7 | 申请日： | 1997-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN1072364C | 公开（公告）日： | 2001-10-03 |
| 发明（设计）人： | 陈侦;王桂英;王之江;丁志华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B27/58 | 分类号： | G02B27/58;G02B21/00 |
| 代理公司： | 上海华东专利事务所 | 代理人： | 李兰英 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种超精细结构的光学测量系统，适用于光盘表面结构、亚微米级线宽集成电路、生物组织结构以及其他纳米至亚微米级样品结构的测量。它基于透射式共焦扫描成像系统或反射式共焦扫描成像系统中加入振幅受调制的软边光阑的掩模板。具有非接触、非损伤、采用可见光激光器的相干光源，最大限度提高了系统的分辨能力，使得共焦光路能够分辨超过经典衍射极限物体细节的特点。$＃! | ||
| 搜索关键词： | 精细结构 光学 测量 系统 | ||
【主权项】：
1．一种超精细结构的光学测量系统，包括透射式共焦扫描成像系统：由光源(1)开始，沿着光路前进的方向依次有第一反射镜(2)，聚光镜(3)，在聚光镜(3)的焦点O1处置有第一小孔光阑(4)，与聚光镜(3)同光轴共焦点O10有第一透镜(5)，第二反射镜(6)，第二透镜(8)，置于第二透镜(8)的焦点O2处有放在样品架和精密位移器(10)上的待测样品(9)，与第二透镜(8)同光轴共焦点O2有第三透镜(11)，第四透镜(13)，置于第四透镜(13)的焦点O3处有第二小孔光阑(14)，第二小孔光阑(14)之后有探测器(15)，其特征在于置于第二反射镜(6)与第二透镜(8)之间有振幅调制为扁长球函数的软边光阑的第一掩模板(7)，置于第三透镜(11)与第四透镜(13)之间有振幅调制为扁长球函数的软边光阑的第二掩模板(12)。
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