[发明专利]光束方向微小漂移检测系统无效
| 申请号： | 97106489.X | 申请日： | 1997-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN1072354C | 公开（公告）日： | 2001-10-03 |
| 发明（设计）人： | 胡企铨;吕召林;张国轩;陈刚 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01H9/00 |
| 代理公司： | 上海华东专利事务所 | 代理人： | 李兰英 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种光束方向微小漂移检测系统，特别适用于激光高精度刻录系统光束方向漂移的检测，也可用于对振动的定量检测。它主要包括两块相同参数、相互平行、中心置于系统光轴上的光栅，在两块光栅之前放置被测光源，在两块光栅之后置有探测器、信号处理器和计算机。本发明的检测系统具有结构简单、系统误差小、测量较直接、测量精度高（可达到微弧度量级）等优点。$＃! | ||
| 搜索关键词： | 光束 方向 微小 漂移 检测 系统 | ||
【主权项】：
1．一种光束方向微小漂移检测系统，包括两块相同参数的光栅(7、8)是相互平行地置放于系统的中心位置上，且两光栅(7、8)的中心是在系统光轴上，被测光源(1)是置于第一块光栅(7)之前的系统光轴上，探测器(2)是置于第二块光栅(8)之后的系统光轴上，其特征在于第二块光栅(8)置于距离第一块光栅(7)为泰伯距离q的自成像光栅(14)的平面上，入射于第一块光栅(7)上的光束必须是平行光束，或在被测光源(1)与第一块光栅(7)之间置有准直器件(11)，在探测器(2)之后有信号处理器(12)和计算机(3)。
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