[发明专利]电子发射器件和电子源生产方法及敷设液体缺陷检查方法无效
| 申请号： | 97109530.2 | 申请日： | 1997-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN1097284C | 公开（公告）日： | 2002-12-25 |
| 发明（设计）人： | 长谷川光利 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | H01J9/02 | 分类号： | H01J9/02;H01J1/316 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 杨国旭 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种电子发射器件的生产方法，该器件具有包含设于一对器件电极之间的电子发射区域的导电膜，该导电膜的形成包括下列步骤通过喷墨方法将包括导电膜的初始材料的液体敷设于基层上，之后在敷设液体中对有缺陷的区域进行检查，之后再次通过喷墨方法将包括上述导电膜的初始材料的液体敷设于有缺陷的区域，并对上述所敷设的液体加热以形成导电膜。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 发射 器件 生产 方法 敷设 液体 缺陷 检查 | ||
【主权项】：
1.一种电子发射器件的生产方法，该器件具有导电膜，该导电膜具有设于一对器件电极之间的电子发射区域，其特征在于：具有电子发射区域的导电膜的形成包括下列步骤：通过喷墨方法将包括导电膜的初始材料的液体敷设于基层上，之后在敷设液体中对有缺陷的区域进行检查，之后再次通过喷墨方法将包括上述导电膜的初始材料的液体敷设于有缺陷的区域，并对上述所敷设的液体加热以形成导电膜；且在所敷设的液体中检查有缺陷区域的步骤包括通过对所敷设的液体进行干燥而形成的导电膜的初始膜进行检查；在将上述初始材料的溶剂敷设于在对初始膜检查的步骤中发现的有缺陷的初始膜上的步骤之后，进行上述的再次敷设包括初始材料的液体的步骤。
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