[发明专利]紫外线可固化的组合物和从其制备固化产物图案的方法

摘要

本发明涉及可固化组合物，该组合物包括a)N-取代的4-(邻-硝基苯基)二氢吡啶，它构成了由紫外线作用导致产生碱的一种可产生碱的物质，和(b)含有硅-氢键(Si-H)的硅氧烷聚合物，该硅-氢键在碱的作用下能够与羟基(OH)反应形成硅-氧键(Si-O)和氢分子(H2)。用紫外线辐射可将这一组合物固化。在用紫外线辐射过程中，通过在组合物的涂敷膜和紫外线辐射源之间放置掩模，然后在辐射之后用溶剂溶解和除去该组合物的未固化部分，最终形成图案。

主权项

1、紫外线可固化的组合物，包含：(a)基于组合物总重量的0.01-20wt％的N-取代的4-(邻-硝基苯基)二氢吡啶；和(b)具有通式(R2SiO2/2)a(RSiO3/2)b的硅氧烷聚合物，其中各R单独地选自氢原子和C1-C8烃基，其中RSiO3/2中的R是氢原子的结构部分和其中R2SiO2/2中一个或两个R是氢原子的结构部分之总和是RSiO3/2单元和R2SiO2/2单元的至少5％；和0≤a≤1，0≤b≤1，a+b＝1；其中，键接于R2SiO2/2和RSiO3/2各自的硅原子的至少一个二价氧原子还键接于另一硅原子以形成硅氧烷键。