[发明专利]用于等离子体显示板的电极及其制造方法无效
| 申请号： | 97110578.2 | 申请日： | 1997-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN1118862C | 公开（公告）日： | 2003-08-20 |
| 发明（设计）人： | 曹井守;朴正后;李起仁;高在贤;柳在和 | 申请（专利权）人： | LG电子株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/28 | 分类号： | H01L21/28 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 黄敏 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明披露了用于等离子体显示板(PDP)的电极及其制造方法，该PDP中，在玻璃衬底上形成有高粘附力的电极，该电极包括形成于金属电极与电介质衬底或玻璃衬底之间的金属陶瓷薄膜；该方法包括在电介质衬底的预定部分上形成金属陶瓷薄膜的步骤，和在金属陶瓷薄膜上形成有与该金属陶瓷薄膜相同金属元素的电极的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 等离子体 显示 电极 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于等离子体显示板的电极，其中，在电介质或玻璃衬底上形成金属电极，该电极包括：形成于金属电极与电介质或玻璃衬底之间的金属陶瓷薄膜，其中，用包括与金属电极相同金属元素的化合物形成所述金属陶瓷薄膜。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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