[发明专利]光刻胶剥离液管理装置无效
| 申请号： | 97110797.1 | 申请日： | 1997-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN1078359C | 公开（公告）日： | 2002-01-23 |
| 发明（设计）人： | 中川俊元;塚田光三;小川修;宝山隆博;西嶋佳孝 | 申请（专利权）人： | 株式会社平间理化研究所;长濑产业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 光刻胶剥离液管理装置，为把光刻胶剥离液品质控制为恒定，削减液体使用量、减少工作时间和降低价格，构成为具有光刻胶剥离液排出装置，用于用吸光光度计16检测光刻胶剥离液的溶解光刻胶浓度以排出光刻胶剥离液；第1补给装置，用于用液面水平计3检测光刻胶剥离液的液面水平以补给光刻胶剥离原液和纯水；第2补给装置，用于用吸光光度计15检测光刻胶剥离液的水分浓度以补给光刻胶剥离原液和纯水中的至少一方。$#! | ||
| 搜索关键词： | 光刻 剥离 管理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光刻胶剥离液管理装置，其特征是具备有下述装置：供给光刻胶剥离原液和纯水以保持恒定液面水平的液面调节补给装置；用吸光光度计检测该光刻胶剥离处理槽内的光刻胶水系剥离液的水分浓度并补给光刻胶剥离原液与纯水之中的至少一方的补给装置。
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