[发明专利]采用乙烯吡咯烷酮聚合物的可水显影光敏厚膜组合物无效

专利信息
申请号: 97111419.6 申请日: 1997-05-20
公开(公告)号: CN1179557A 公开(公告)日: 1998-04-22
发明(设计)人: T·R·修斯 申请(专利权)人: 纳幕尔杜邦公司
主分类号: G03F7/027 分类号: G03F7/027
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 邰红,吴大建
地址: 美国特*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种在氧化性或基本上非氧化性气氛中可灼烧的导电或绝缘的光敏水显影组合物。它包含如下物质的混合物(a)导电或绝缘固体的细小颗粒;(b)一种无机粘合剂的细颗粒;(c)一种共聚物或者共聚体的有机聚合物粘合剂;(d)一种光引发体系;(e)可光固化的单体;(f)一种有机介质;光照下该组合物经图像式曝光后可在含有0.8%重量的碳酸钠水溶液中显影,其中对组合物的改进包含(g)一种乙烯吡咯烷酮的均聚物或者共聚物。
搜索关键词: 采用 乙烯 吡咯烷酮 聚合物 显影 光敏 组合
【主权项】:
1.一种可水显影的导电或绝缘组合物,此组合物在氧化性或基本上非氧化性气氛中是可灼烧的,它包含如下物质的混合物:(a)导电或绝缘固体的细小颗粒,此颗粒的表面积/重量比不超过20m2/g,此外至少占重量80%的颗粒粒径为0.4-10μm,以及(b)一种无机粘合剂的细颗粒,它的玻璃化温度范围为325℃-875℃,表面积/重量比不超过10m2/g,并且至少占重量90%的颗粒粒径为0.4-10μm,(b)/(a)的重量比范围为0.0001-0.25,分散于一种有机载体中,此载体含有(c)一种共聚物或共聚体的有机聚合物粘合剂,它含有(1)一种非酸性的丙烯酸C1-C10烷基酯或甲基丙烯酸C1-C10烷基酯的共聚单体,和(2)一种烯键不饱和羧酸,条件为全部酸性共聚单体至少占聚合物重量的15%,其中有机聚合物粘合剂的分子量不超过50,000,(d)一种光引发体系,(e)可光固化的单体,(f)一种有机介质,光照下该组合物经图像式曝光后可在含有0.8%重量的碳酸钠水溶液中显影,其中对组合物的改进包含:(g)一种乙烯吡咯烷酮的均聚物或共聚物。
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