[发明专利]使用光的缺陷检查方法及其装置无效
| 申请号： | 97111442.0 | 申请日： | 1997-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN1115555C | 公开（公告）日： | 2003-07-23 |
| 发明（设计）人： | 高本健治;西井完治;伊藤正弥;福井厚司;高田和政 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01B11/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 沈昭坤 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明是使用光的缺陷检查方法及其检查装置。用由半导体激光一维配置的列状光源和投影透镜在被检查物体上进行强度变化的虚线状照明。用线状传感器通过物镜摄像。接着一边用试样台使被检查物体依序移动一边通过用线状传感器的信号和试样台的信号形成图像的前处理部向图象处理部输入图像信号并进行图象处理，以此可以检测被检查物体上的光学不均匀部分，确认有否裂纹缺陷。以此方法可高精度、高速度地检测陶瓷基板和金属烧结材料等的裂纹缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 缺陷 检查 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1.一种使用光的缺陷检查方法，其特征在于，在被检查物体表面，照射在表面位置上强度不同的光，检测该照射光从上述被检查物体表面透入内部后从所述被检查物体表面辐射出的辐射光，检测所述被检测的辐射光的强度变化以检测出被检查物体的光学不均匀部分，照射在被检查物体表面的光是成虚线状照射的光，检测辐射光的区域是线状区域。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于松下电器产业株式会社，未经松下电器产业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/97111442.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
