[发明专利]工作台垂直位移测量装置无效
申请号: | 97111636.9 | 申请日: | 1997-04-16 |
公开(公告)号: | CN1168968A | 公开(公告)日: | 1997-12-31 |
发明(设计)人: | 曹廷镐 | 申请(专利权)人: | 三星航空产业株式会社 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 柳沈知识产权律师事务所 | 代理人: | 李晓舒 |
地址: | 韩国庆*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种工作台垂直位移测量装置,包括一个固定部分和一个活动部分。该固定部分包括一个光源;一个用于有选择地衍射和透射从光源发射的光的第一标尺式玻璃;一个接收部分,用于接收透射过该第一标尺式玻璃的光;以及一个电路部分。第一标尺式玻璃上间隔地形成多个透明和不透明区域。该活动部分包括一个活动地沿垂直方向安装在工作台的第二标尺式玻璃,其上有多个间隔形成的反射区域和透射区域。 | ||
搜索关键词: | 工作台 垂直 位移 测量 装置 | ||
【主权项】:
1.一种工作台垂直位移测量装置,包括:一个产生和发射光的光源;一个第一标尺式玻璃,具有间隔地排列的透明和不透明区域,用于有选择地衍射和反射从所述光源发射的光;一个第二标尺式玻璃,与所述工作台相接合,活动地沿所述工作台的垂直方向安装,它具有间隔地排列的反射和透射区域,用于有选择地衍射和反射穿过所述第一标尺式玻璃的光;一个接收部分,用于接收被所述第二标尺式玻璃反射后透过所述第一标尺式玻璃的光;以及一个电路部分,它利用所述接收部分接收的信号测量所述工作台的第二标尺式玻璃的位移,并控制所述工作台的垂直位移。
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