[发明专利]射频激励快速轴流一氧化碳激光器

摘要

一种横向射频激励快速轴流ＣＯ激光系统，由激光谐振腔和气体循环系统构成，谐振腔包括放电管、中心部件，射频电极和端部件，端部件内设有相应的反射镜；气体循环系统包括涡流泵和气流通道，气流通道上设有热交换器。工作气体是由放电管间的中心部件流入，从两端部件流出，射频电极与放电管管壁间具有一倾角，放电管的端口采用卷边形式，设置在涡流泵与中心部件间的为二级热交换器，用以将气体温度降至足够低，以便系统功能得到发挥。$＃!

主权项

1．一种横向射频激励快速轴流CO激光器，它包括激光谐振腔和与之相连通的气体循环系统，其中谐振腔包括放电管、设于放电管间的中心部件、设置在各放电管外连接射频源的射频电极和谐振腔端部件，谐振腔的一端部件内设置有与放电管一端相对的一全反射镜，另一端部件内设有一部分反射镜；气体循环系统包括气流泵和使其与谐振腔两端部件和放电管间的中心部件相连通的气流通道，在气流通道上设有热交换器；气流泵采用涡流泵，涡流泵的气流出口通道经热交换器连接谐振腔两放电管间的中心部件入口，谐振腔两端部件气流出口分别经两热交换器和气流通道连接涡流泵的气流入口；在射频电极和放电管管壁之间设置一调节射频电极和放电管管壁之间倾角的绝缘调节架；与谐振腔两端部件和中心部件连接的放电管的两端口为卷边形状，其特征在于涡流泵输出通道与放电管间中心部件间的热交换器为二级热交换器，它包括主热交换器和间接热交换器，主交换器包括以放射形状嵌入一个可不断充入液氮的绝热容器的金属散热片，其外设有将其封闭并与散热片之间形成供气流流动空间的外壳作为循环通道，外壳上设有一与放电管间中心部件相连通的气体出口，并设有两个分别与间接热交换器气体出口相连通的气体入口，间接热交换器的气体入口与涡流泵气体输出通道连接，绝热容器的蒸发口经引导管分别与间接热交换器的散热片相通。