[发明专利]具有较大的倾斜角度的薄膜致动反射镜

摘要

一种M×N薄膜反射镜的阵列及其制造方法，其中各致动机构均具有一对侧致动器和一个中心致动器，侧致动器的两端固定连接在有源矩阵上。侧致动器的下薄膜电极与中心致动器的上薄膜电极相电连接，作为信号电极，侧致动器的上薄膜电极与中心致动器的下薄膜电极相电连接，作为共同的偏置电极。当电场施加到薄膜致动反射镜上时，侧致动器伸展，中心致动器向上收缩，从而使薄膜致动反射镜以一个较大的角度倾斜。

主权项

1、一种在光学投影系统中使用的一个M×N薄膜致动反射镜的阵列，该阵列包括：一有源矩阵，包括一个基底和一个M×N个连接端子的阵列；一M×N致动机构的阵列；和一个M×N薄膜反射镜的阵列，其中M和N为整数，其特征在于，上述各致动机构均具有一对侧致动器和一中心致动器所构成的致动器对，各侧致动器的两端固定在有源矩阵上，每一个致动器包括一上薄膜电极、一个薄膜电致位移件、一个下薄膜电极件和一个弹性件；薄膜电致位移件放置在上、下薄膜电极之间，弹性件位于下薄膜电极之下，侧致动器的下薄膜电极与中心致动器的下薄膜电极不相电连接，而且各侧致动器中的下薄膜电极通过导管连接至连接端子，而且电连接到中心致动器的上薄膜电极，从而作为信号电极，各侧致动器中的上薄膜电极与大地相连接，并且与中心致动器的下薄膜电极相电连接，从而作为共同的偏置电极；上述各薄膜反射镜位于各致动机构之上，并且被悬臂支持在各致动机构的中心致动器的远端。