[发明专利]用于半导体器件制备的显影设备及其控制方法无效
| 申请号： | 97113629.7 | 申请日： | 1997-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN1087445C | 公开（公告）日： | 2002-07-10 |
| 发明（设计）人： | 金东浩;安雄宽;朴济应;李炳官 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 邹光新,傅康 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于半导体器件制备的显影设备，包括工作台，装在工作台上并装有适量显影液的容器，装在容器上方、固定已曝光晶片底面的旋转盘，使旋转盘转动的驱动电机，使旋转盘垂直传动以使晶片在容器中上下移动的垂直驱动器，使旋转盘和垂直驱动器转动一定角度以使晶片的图案形成面有选择地转向上或转向下的翻转驱动器，提供适量显影液到容器中的显影液供应器，以及喷洒清洗液到晶片的图案形成面上的清洗液供应器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 半导体器件 制备 显影 设备 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于半导体器件制备的显影设备，包括：工作台；装在工作台上并装有适量显影液的容器；装在容器上方、支撑已曝光晶片的旋转盘，与图案形成面相反的晶片的一面固定在此旋转盘上；使旋转盘转动的驱动电机；使旋转盘垂直传动以使晶片在容器中上下移动的垂直驱动器；使旋转盘和垂直驱动器绕驱动电机的转轴垂直的轴转动一定角度以使晶片的图案形成面有选择地远离容器而转向上或朝向容器而转向下的翻转驱动器；提供适量显影液到容器中的显影液供应器；以及喷洒清洗液到晶片图案形成面上的清洗液供应器。
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