[发明专利]在导向套筒内表面形成硬质碳膜的方法

摘要

本发明将自动车床中用于保持被加工件使之可以旋转和沿轴向运动的导向套筒放置在真空槽中,在导向套筒和被加工件滑动接触的内表面上,形成质量均匀粘着性好的硬质碳膜。为此,将导向套筒放置于真空槽中,在构成上述内表面的中心开口处插入辅助电极,将该电极接地;在将真空槽排气后,经气体导入口将含碳的气体导入真空槽中,在上述导向套筒上经电抗器加上直流电压后,在真空槽中产生等离子体,利用等离子体CVD法在导向套筒的内表面形成氢化非晶状碳的硬质碳膜。

主权项

1.一种在导向套筒的内表面形成硬质碳膜的方法，所述该导向套筒在轴方向具有中心开口且大体为圆筒状，其一端的外周为锥面，具有和被加工件滑动接触的内表面和开槽：当装在自动车床上时，插入上述中心开口的被加工件在其保持作用下可以在切削工具附近旋转并沿轴的方向滑动，上述方法的特征在于：上述导向套筒被放置于具有气体导入口和排气口与阳极和灯丝的真空槽中；在该导向套筒的形成上述内表面的中心开口中插入辅助电极并将该电极接到地电位；在将上述真空槽中排气后由上述气体导入口将含碳的气体导入该真空槽中；在上述导向套筒经电抗器被施加上直流电压的同时，在上述阳极上施加直流电压，上述灯丝上施加交流电压，上述真空槽中产生等离子体，利用等离子体CVD法在上述导向套筒的上述内表面形成氢化非晶碳的硬质碳膜。