[发明专利]金属有机化学气相淀积装置和淀积方法

摘要

一种金属有机化学气相淀积装置，包括原料细颈瓶、液体微型泵、装置有溶剂供应装置的蒸发器及反应器。溶于溶剂中的反应物在原料细颈瓶中经液体微型泵送至蒸发器中，足够量的溶剂和送进来的反应物同时经由溶剂供应装置被另外供应至蒸发器中。在蒸发器中蒸发后，反应物经由载体气体注射至反应器中，且在半导体基板形成高介电薄膜。因为另外供应溶剂，可防止反应物的再凝结。除此之外，反应物的残留物也可被清洗掉。

主权项

1.一种用以形成高介电薄膜的金属有机化学气相淀积装置，包括装有溶解在溶剂中的反应物的原料细颈瓶、用于输送溶解反应物的液体微型泵、用于蒸发由微型泵输送进来的溶解反应物的蒸发器、及用于将蒸发反应物淀积至半导体基板上的反应器，所述的半导体基板装载在反应器中，该蒸发反应物由载体气体供应至该反应器中，其特征在于所述的蒸发器另外装有溶剂供应装置，用来将额外量的溶剂输入该蒸发器中，以防止反应物在蒸发器中再凝结，及防止再凝结反应物阻塞蒸发器和反应器间的输入管线。