[发明专利]级联扫描光学系统

摘要

一种级联扫描光学系统，它包括多个激光扫描光学系统，分别发射一个激光束以扫描一个部件的表面；和一个分束器，设置在多个激光扫描光学系统与部件之间的光路中，以使透过分束器的第一激光束与分束器反射的第二激光束投射到部件表面的一条公共线上并位于该公共线的相应区间，该多个激光扫描光学系统远心光学系统。$#!

主权项

1.一种级联扫描光学系统，包括：多个激光扫描光学系统，分别发射一个激光束以扫描一个部件的表面；一个分束器，设置在所述多个激光扫描光学系统与所述部件之间的光路中，以使透过所述分束器的第一激光束与所述分束器反射的第二激光束投射到所述表面的一条公共线上并位于所述公共线的相应区间；和一个反射镜，它设置在邻近所述分束器的位置，以便将所述多个激光扫描光学系统之一发出的激光束沿着第一方向反射到所述分束器的一侧，其中所述多个激光扫描光学系统的另一个被设置成使其发出的激光束沿着与所述第一方向正交的第二方向投射到所述分束器的另一侧，其中所述的多个激光扫描光学系统是远心光学系统，所述多个激光扫描光学系统的所述一个和所述多个激光扫描光学系统的所述另一个相互平行地设置。