[发明专利]准分子激光器振荡设备和方法及曝光设备和激光管有效
| 申请号： | 97119293.6 | 申请日： | 1997-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN1150665C | 公开（公告）日： | 2004-05-19 |
| 发明（设计）人： | 大见忠弘;田中信义;平山昌树 | 申请（专利权）人： | 大见忠弘;佳能株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/08 | 分类号： | H01S3/08;H01S3/22;H01S3/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 蒋世迅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种准分子激光振荡设备，其包括：激光室(20，40，2)，它存储包含F2气体和选自Kr、Ar和Ne的至少一种惰性气体的气体混合物的激光气体，其内表面对要求的波长248nm、193nm或者157nm的光的反射率小于或等于50％，内表面由对F2稳定的氟化物构成；光学谐振器，其由一对反射镜(5，6)构成，在反射镜之间夹有所述激光室，其中在输出侧反射镜的反射率不小于90％；以及微波输入装置(42，1)，设置在所述激光室上面，用于连续激励所述激光室中的激光气体。 | ||
| 搜索关键词： | 准分子激光 振荡 设备 方法 曝光 激光管 | ||
【主权项】：
1.一种准分子激光振荡设备，其包括：激光室(20，40，2)，它存储包含F2气体和选自Kr、Ar和Ne的至少一种惰性气体的气体混合物的激光气体，其内表面对要求的波长248nm、193nm或者157nm的光的反射率小于或等于50％，内表面由对F2稳定的氟化物构成；光学谐振器，其由一对反射镜(5，6)构成，在反射镜之间夹有所述激光室，其中在输出侧反射镜的反射率不小于90％；以及微波输入装置(42，1)，设置在所述激光室上面，用于连续激励所述激光室中的激光气体。
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