[发明专利]光波导元件的制造方法无效
| 申请号： | 97119550.1 | 申请日： | 1997-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN1179545A | 公开（公告）日： | 1998-04-22 |
| 发明（设计）人： | 李泰衡;俞炳权 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G02B6/00 | 分类号： | G02B6/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王忠忠,张志醒 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种制造光波导元件的方法,该方法用光刻蚀法在圆片衬底上制作多个光波导元件图形12。光波导元件图形12在圆片上是与垂直划线18及水平划线16倾斜成一定的角度(θ)形成的。沿水平划线16和垂直划线18切割圆片,形成多个光波导元件12。倾斜角降低了光波导元件与光纤连接时的回波损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 元件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造光波导元件的方法，包括下列工序：用光刻蚀法在圆片衬底上制取多个光波导元件图形，光波导元件图形是在圆片上与垂直和水平划线倾斜成一定的角度(θ)制作的。
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