[发明专利]电子发射膜及方法无效
| 申请号： | 97120503.5 | 申请日： | 1997-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN1179617A | 公开（公告）日： | 1998-04-22 |
| 发明（设计）人： | 伯纳德·科尔;埃里克·P·迈纽;阿尔伯特·阿莱克·塔林 | 申请（专利权）人： | 摩托罗拉公司 |
| 主分类号： | H01J1/30 | 分类号： | H01J1/30;H01J9/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用以形成电子发射膜(200、730、830)的方法,包括的步骤有(i)汽相在阴极电弧淀积装置(100、600)中的石墨源(120、620)以产生碳等离子体(170、670),(ii)在石墨源(120、620)和玻璃或硅淀积基片(130、630、710、810)之间施加电位差,以加速碳等离子体(170,670)朝向淀积基片(130、630、710、810),(iii)在阴极电弧淀积装置(100、600)内提供工作气体;并且(iv)将碳等离子体(170、670)淀积到淀积表面(130、630、710、810)上面。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 发射 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于在低电场强度下发射电子并提供高密度发射点的方法，其特征在于，形成具有包括部分石墨化的纳晶体碳的膜(200，730)的电子发射表面(775)的电子发射器结构步骤。
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