[发明专利]单块振动梁式角速度传感器无效
| 申请号： | 97126152.0 | 申请日： | 1997-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN1199171A | 公开（公告）日： | 1998-11-18 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·E·斯图尔特 | 申请（专利权）人： | 利顿系统公司 |
| 主分类号： | G01P3/00 | 分类号： | G01P3/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司1300室 | 代理人： | 朱登河 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种单块式角速度传感器由一块普通的平的硅基片制成。包括细长梁的传感器元件悬挂在做在普通的基片内的框架孔内。横向元件或耳将该细长梁固定在框架上和梁的节点上。单个梁和多梁式阵列传感器都可以做在一个普通的硅基片内。由一个普通基片制造的方向互相垂直的梁或梁的陈列可以测量围绕二根互相垂直的轴线转动的角速度。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 角速度 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种角速度传感器，其包括：a)一个细长梁；b)一个框架，它具有一个用于容纳所述梁的内孔；c)用于在所述孔内悬挂所述梁的装置；d)固定在所述梁上用于挠性地驱动所述梁的装置；e)固定在所述梁上用于检测是否有复合向心力作用在所述梁上及其大小的装置；和f)所述梁、所述悬挂元件和所述框架是一个由硅构成的整体结构。
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