[发明专利]具有曲折导电路径的离子源源体丝极

摘要

本发明公开了一种离子注入机的离子束电源装置(10)的丝极极板(80)。丝极极板是由钨做成的,它有两个空间隔开的缝(96,98)。该缝穿过极板的宽度。缝隙的间隔的宽度完全小于10倍的离子的等离子体Debye的长度,该等离子体是通过把电子发射到弧室(62)而形成的。平板丝极被安排在一个弧室中,电离的源材料就被注入到这个弧室之中。板极有两个导电杆(106,108)被压装到板极的孔中,以便加热板极到离子发射温度。导电杆穿过弧室的边壁中的绝缘开孔。

主权项

1、一种把电子发射到离子源弧室的室内空间中的带电等离子体中去的设备，它包括：a)一个导电材料80的源体，它具有一个顶部表面(110)和一个底部表面(112)，它能通过边壁(90，92，92)隔开，至少有一个顶部和一个底部表面发射电离的电子到弧室的室内空间区，当电流流过该源体的时候；b)第一和第二导电部件(106，108)电连接到该源体上，把电位差加在该部件的两个空间隔开的位置之间，使电流流过在两个隔开的部分之间安排的该源体；c)形成至少一个缝隙(96，98)的源体，缝隙通过从该源体的边壁沿伸出的部件的宽度，进入该源体室内以延长在两个空间间隔部分之间的电流通路。