[发明专利]用于离子源的旁热式阴极的端帽

摘要

离子注入机用的离子源,包括限定气体电离区的导电室壁的气封室,其出口允许离子射出。基板使气封室对着将射出的离子形成离子束的结构配置。阴极一部分伸入气封室的开口中。阴极包括置有灯丝的内部区域的阴极体。阴极体包括内管件、同轴的外管件和端帽。端帽具有带径向延伸凸缘的横截面减小的主体部分。端帽压入内管件。给灯丝供电以加热该端帽,使其发射电子至电离区。该灯丝受阴极体保护,可免受气体电离区中激发等离子体的影响。

主权项

1、用在离子注入机(10)中的离子源(12)，所述离子源(12)包括：a)气封室(76)，具有限定一区域(R)的室壁(130)并包括允许离子射出气封室(76)的出口(78)；b)用于把可电离材料输入气封室(76)的装置；c)用于把气封室(76)支撑在相应位置上，以使在离子离开气封室(76)时形成离子束(20)的结构；d)对着气封室(76)的电离区(R)配置的阴极(124)，用以发射致电离电子进入气封室的电离区(R)，以在电离区(R)内产生离子，该阴极(124)包括配置在电绝缘阴极体(300)内的一热源(178)，该阴极体(300)包括第一管(162)和支撑在毗邻该热源(178)的该第一管(162)的末端(308)内的端帽(164)，在被热源(178)加热时，该端帽(164)发射致电离电子进入气封室(76)的电离区(R)；e)该端帽(164)包括被主体部分(324)隔开的第一端(320)和第二端(322)，并具有从主体部分(324)向外延伸的径向凸缘形支架(326)，它与第一管(162)的内表面(301)接触，以在第一管(162)的末端(308)内支撑该端帽(164)，该径向凸缘支架(326)具有小于主体部分(324)的轴向长度的轴向厚度。