[发明专利]用于金属CMP的组合物和浆料有效
| 申请号： | 97181180.6 | 申请日： | 1997-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN1131125C | 公开（公告）日： | 2003-12-17 |
| 发明（设计）人： | 史蒂文·K·格鲁宾;克里斯托弗·C·斯特赖恩兹;布赖恩·L·米勒 | 申请（专利权）人： | 卡伯特微电子公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 巫肖南 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种化学机械抛光前体组合物，包括至少一种具有多个氧化态的催化剂和至少一种稳定剂，在使用前该组合物与氧化剂掺混以用于从基材上除去金属层。还公开了一种化学机械抛光前体组合物，包括一种氧化剂和至少一种具有多个氧化态的催化剂，该组合物与磨料或磨料垫片并用后可用于从基材上除去金属层。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 金属 cmp 组合 浆料 | ||
【主权项】：
1.一种化学机械抛光组合物，包括：至少一种氧化剂；和至少一种具有多个氧化态的催化剂。
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