[发明专利]集成电路测试方法和采用该测试方法的集成电路测试装置

摘要

在实行功能测试和直流测试的IC测试装置中，在直流测试装置的输出端连接高电阻的电阻器，通过该电阻器的连接，即使在将直流测试装置连接到功能测试装置的状态下，也能正常操作功能测试装置，从而在功能测试的实行过程中插入直流测试，并行实行功能测试和直流测试，将直流测试装置中开关切换这样花费时间的控制在功能测试中实行，使开关切换时间不添加到测试所需的时间上，从而缩短测试时间。

主权项

1.一种用于在一IC测试装置中执行直流测试的方法，该IC测试装置包括：功能测试装置，具有多个功能测试单元，每个功能测试单元包括一个驱动器，用于执行一个被测试IC的功能测试；以及直流测试装置，具有一电流输出端子、一感知点和一具有高于所述驱动器的输出阻抗的高阻抗的电阻，用于执行直流测试；其特征在于，所述方法包括：将各个功能测试单元与IC的各个端子连接，控制所述功能测试装置来通过利用所述驱动器向所述被测试IC的每个端子施加测试模式信号而执行所述被测试IC的功能测试；在由所述功能测试装置执行与所述被测试IC的所述功能测试期间，通过高阻抗电阻将所述电流输出端子与所述直流测试装置的所述感知点连接，并有选择地将所述感知点与所述被测试IC的端子之一连接，在所述直流测试装置在所述感知点提供一规定电压的同时，控制所述功能测试装置的功能测试单元之一的驱动器在高阻抗状态下，其中所述感知点通过IC的端子中的所选择的一个与所述功能测试装置连接，控制所述直流测试装置测量流过所述被测试IC的端子的漏电流，从而在功能测试的执行过程中测量所述漏电流。