[发明专利]使用波前分析的光学系统的客观测量和校正无效

专利信息
申请号: 97182533.5 申请日: 1997-11-21
公开(公告)号: CN1291281A 公开(公告)日: 2001-04-11
发明(设计)人: 鲁道夫·W·弗雷;詹姆斯·H·伯克哈尔特;尼尔·泽浦金;爱德华·帕博里尔斯;约翰·A·坎宾 申请(专利权)人: 自控技术公司
主分类号: G01J1/00 分类号: G01J1/00
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 冯谱
地址: 美国佛*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种用于聚焦光学系统的客观测量和校正的系统和方法包括布置在光束(18)的通路中的光学系统,该光学系统引导光束通过聚焦光学系统,例如即眼睛(120),并且把光束聚焦在其后部(122)处。该光束扩散地反射回,并且一个波前分析器(26)布置在从光学系统投射的波前的通路中,并且计算失真作为聚焦光学系统的象差估计。
搜索关键词: 使用 分析 光学系统 客观 测量 校正
【主权项】:
1.一种系统,包括:一个能量源,用来产生辐射光束;光学系统,布置在所述光束的通路中,用来指引所述光束通过使其后部起扩散反射器作用的一个聚焦光学系统,其中所述光束作为通过所述聚焦光学系统的辐射波前,从所述后部扩散地反射回,以撞击在所述光学系统上,光学系统按与撞击在所述光学系统上的所述波前的直接对应投射所述波前;一个波前分析器,布置在从所述光学系统投射的所述波前的通路中,用来计算波前的失真,作为所述聚焦光学系统的象差估计。
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