[发明专利]有调整装置的电沉积槽无效

专利信息
申请号: 97190291.7 申请日: 1997-04-01
公开(公告)号: CN1094156C 公开(公告)日: 2002-11-13
发明(设计)人: 米歇尔·博克;威托尔德·克拉夫奇克;克劳斯·普伦泽尔;鲁道夫·奥皮茨 申请(专利权)人: 声音和信息载体股份有限公司索诺布累斯生产公司
主分类号: C25D1/10 分类号: C25D1/10
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 张兆东
地址: 联邦德国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种在基质上电沉积金属层的设备,它有一个盛放电解液(58)的槽(50);有一个充填阳极材料和带一个基本上平的阳极材料金属离子出口面(89)的阳极箱(56)。基质架(86)与一根传动轴(84)连接,传动轴支承在槽(50)盖(52)上的传动装置(54)中。盖(52)安装成可绕回转装置(70)的旋转轴线转动,回转装置固定在槽(50)上与阳极箱(56)相对的那一侧。按本发明,基质表面可相对于阳极箱(56)与其对置着的出口面(89)调整。
搜索关键词: 调整 装置 沉积
【主权项】:
1.在基质上电沉积金属层的设备,有一个盛放电解液(58)的槽(50);有一个充填阳极材料和带一个基本上平的阳极材料金属离子出口面(89)的阳极箱(56),金属离子沉积在用作阴极的基质(87)面朝着阳极箱(56)的基质表面上,其中,基质表面相对于垂直线倾斜地和基本上平行于阳极箱(56)面朝它的出口面(89)并与之相隔一定距离地设置;有一个基质架(86),它与一根沿基质表面的法线方向延伸的传动轴(84)连接,传动轴支承在槽(50)盖(52)上的传动装置(54)中,其中,盖(52)安装成可绕回转装置(70)的旋转轴线转动,回转装置(70)固定在槽(50)上与阳极箱(56)相对的那一侧,其特征为:基质表面可相对于阳极箱(56)与其对置着的出口面(89)调整。
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