[发明专利]差分干涉仪系统和配有该系统的平版印刷分步扫描装置无效
| 申请号： | 97190435.9 | 申请日： | 1997-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN1133866C | 公开（公告）日： | 2004-01-07 |
| 发明（设计）人： | J·E·范德维尔夫;P·迪尔克森 | 申请（专利权）人： | ASM石版印刷公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/14;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王勇,张志醒 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明描述了一种用于测量第一个物体(WH)和第二个物体(MH)相互位置和运动的差分干涉仪系统，该系统包括带有第一测量反射器(RW)的第一个干涉仪部件(1，2，3，4)，和带有第二测量反射器(RM)的第二个干涉仪部件(5，6，7，8)。由于测量光束(bm)既通过第一又通过第二个干涉仪部件，而且既被第一又被第二个测量反射器反射，并且由于测量光束和参考光束(br)至少在两个干涉仪部件之间通过相同的路程，故可以非常迅速地进行精确测量。该干涉仪系统可以很便利地被应用在分步扫描平版印刷投影装置中。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉仪 系统 配有 平版印刷 分步 扫描 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于测量第一和第二个物体沿至少一个方向的相互位置和运动的干涉仪系统，至少对于所有可能的相互运动方向之一来说，上述系统包括：与第一个物体相关联的第一个干涉仪部件，配备有第一个分束器、第一个测量反射器和许多个第一反射器，以及与第二个物体相关联的第二个干涉仪部件，配备有第二个分束器、第二个测量反射器和许多个第二反射器，其特征在于：在工作中，测量光束既通过第一又通过第二个干涉仪部件，而且既被第一又被第二个测量反射器至少反射一次；第一和第二个干涉仪部件具有共同的辐射敏感探测器；与测量光束相关联的参考光束，将与第一和第二个干涉仪部件之间的测量光束通过相同的路程。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASM石版印刷公司，未经ASM石版印刷公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/97190435.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
