[发明专利]通过反常色散改变折射率的底面抗反射涂层无效
| 申请号： | 97192868.1 | 申请日： | 1997-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN1130601C | 公开（公告）日： | 2003-12-10 |
| 发明（设计）人： | 拉尔夫·R·达迈尔;罗伯特·A·诺尔伍德 | 申请（专利权）人： | 克拉里安特国际有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种形成抗反射底层的方法，在用于平版印刷时，可以有效地减小衬底反射率和摆动曲线的影响。其中，采用适当选择的单体的和/或聚合的颜料，它们反折射率的实部调节到利于减小与反射相关的影响的范围。通过反常色散，即利用底层吸收引起的折射率的实部的变化，影响反射率的变化。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 反常 色散 改变 折射率 底面 反射 涂层 | ||
【主权项】：
1.一种在衬底上形成图像的方法，包括：a)在衬底上形成抗反射膜，该抗反射膜的折射率与在抗反射膜上部涂层形成的光致抗蚀剂膜的折射率二者的实部在光学上相匹配，且该抗反射膜包含吸光染料，其中i)抗反射膜的吸光最大值出现在曝光波长的较小值处，或ii)抗反射膜的吸光最大值出现在曝光波长的较大值处，b)在抗反射膜上部形成光致抗蚀剂膜；c)按图像形状对光致抗蚀剂膜曝光；以及d)显影以形成图像；e)在显影前或显影后进行选择性地烘烤。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于克拉里安特国际有限公司，未经克拉里安特国际有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/97192868.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：手套
- 下一篇：一种基于D-dot原理的过电压自适应识别方法及系统
