[发明专利]层叠式磁头的制造方法和磁头无效
| 申请号： | 97193809.1 | 申请日： | 1997-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN1216138A | 公开（公告）日： | 1999-05-05 |
| 发明（设计）人： | E·A·德莱斯马;F·A·普隆克 | 申请（专利权）人： | 皇家菲利浦电子有限公司 |
| 主分类号： | G11B5/31 | 分类号： | G11B5/31;G11B5/39 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王勇,张志醒 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种制造包含感应式传感系统的薄膜式磁头的方法。在一平整基面(11)上沉积一种用于形成第一绝缘层(13)的非磁性绝缘材料,在该绝缘层上形成感应式传感元件(15)。接着在第一绝缘层和在其上形成的感应式传感元件上沉积用于形成第二绝缘层(19)的非磁性绝缘材料。接着,在邻接要形成磁头端面(30)的区域内除去材料,用以形成一延伸贯通第一和第二绝缘层并深达该基面的孔,在此之后,在该孔中沉积一种用于形成间隙层(29)的非磁性绝缘材料。接着,在该间隙层上沉积一种用于形成第一软磁性层的软磁性材料,在此之后,对软磁性层(31)以及由沉积的非磁性绝缘材料层中的邻接的未经覆盖的部分进行平整,以形成平整表面。接着,在这一表面上沉积一种用于形成第二软磁性层(35)的软磁性材料,其与第一软磁性层一起构成磁导(36)。 | ||
| 搜索关键词： | 层叠 磁头 制造 方法 | ||
【主权项】：
1．一种制造层叠式磁头的方法，该磁头具有磁头端面并包含一感应式传感系统，按该方法在一平整基面上沉积一用于构成第一绝缘层的非磁性绝缘材料，在该绝缘层上形成感应式传感元件，在此之后，在第一绝缘层上和在其上形成的感应式传感元件上沉积一用于形成第二绝缘层的非磁性绝缘材料，在此之后，形成一对邻接基面的非磁性间隙层限界的磁导，在此之后形成磁头端面，因此，磁导和间隙层终止于磁头端面，其特征在于，在形成第二绝缘层之后，将在其中形成磁头端面的区内的材料除去，用以形成一延伸贯通第一和第二绝缘层并深达该基面的孔，在此之后，在该孔中沉积一用于形成间隙层的非磁性绝缘材料，接着在间隙层上沉积一用于形成第一软磁性层的软磁性材料，在此之后，将第一软磁性层进行平整以形成一平整表面，接着在其上沉积一用于形成第二软磁性层的软磁性材料，该第二软磁性层与第一软磁性层一起构成磁导。
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