[发明专利]薄膜致动反射镜阵列及其制造方法无效
| 申请号： | 97195061.X | 申请日： | 1997-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN1220067A | 公开（公告）日： | 1999-06-16 |
| 发明（设计）人： | 闵庸基 | 申请（专利权）人： | 大宇电子株式会社 |
| 主分类号： | H04N9/31 | 分类号： | H04N9/31;G02B26/08 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 吴静波 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种M×N薄膜致动反射镜(295)阵列(200)包括一有源矩阵(210)和一M×N致动机构(220)阵列。各致动机构(220)包括一第一薄膜电极(292)、一薄膜电致位移元件(275)、一第二薄膜电极(265)、一弹性件(255)、一导管(282)以及一绝缘件(284)。在该阵列中,绝缘件(284)由某种绝缘材料如氧化物或氮化物做成,并形成于导管(282)顶面与第一薄膜电极(292)底面之间,因此减小了在第一薄膜电极(292)和第二薄膜电极(265)之间形成电接触的可能性。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 反射 阵列 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于某种光学投影系统的M×N薄膜致动反射镜阵列，其中M和N为整数，该阵列包括：一有源矩阵；以及一M×N致动机构阵列，各致动机构包括一弹性件，其近端的底部支撑在该有源矩阵上从而如悬臂样伸出；一第一薄膜电极，与地电连接从而可兼作反射镜和偏置电极；一第二薄膜电极，一导管，从第二薄膜电极顶面向下延伸到有源矩阵并将后两者电连接，从而使第二薄膜电极成为信号电极；一薄膜电致位移元件，置于第一和第二薄膜电极之间；以及一绝缘件，其中该绝缘件被置于导管顶表面和第一薄膜电极底表面之间，因而使第一和第二薄膜电极电绝缘。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大宇电子株式会社，未经大宇电子株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/97195061.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
