[发明专利]作铜添加剂用的烷氧基化二硫醇无效
| 申请号： | 97195088.1 | 申请日： | 1997-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN1220709A | 公开（公告）日： | 1999-06-23 |
| 发明（设计）人： | S·马丁 | 申请（专利权）人： | 恩索恩OMI公司 |
| 主分类号： | C25D3/38 | 分类号： | C25D3/38;C25C1/12 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 卢新华,王其灏 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用烷氧基化二硫醇醚作添加剂的镀铜方法。该添加剂能防止使电极短路的枝晶形成。 | ||
| 搜索关键词： | 添加剂 烷氧基化二 硫醇 | ||
【主权项】：
1．一种电镀基本无枝晶、结节和硫杂质的铜沉积层的方法，该方法包括：(1)提供一种电镀液，其中含有铜离子和有效量的烷氧基化二硫醇醚添加剂；以及(2)从所述电镀液中将铜沉积物电镀到阴极上，其中所得沉积物基本无枝晶、结节和硫杂质。
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